手艺特点
- Nanocrystal是专门为纳米光学结构制备而设计的无掩模光刻系统，，，，，，设置了可一连变空频的位相关预系统，，，，，，实现亚波长光学结构的亚纳米调控精度制备。。。。 。。。。
- 该光刻系统接纳355nm紫外光源、大数值孔径（NA=0.9）干预光学系统、百微米像素视场规模，，，，，，知足150nm-5μm规模微纳光学结构制备，，，，，，设置3D导航聚焦、航行高速曝光模式，，，，，，是大幅面亚波长结构制备的优异手段。。。。 。。。？？？？？？？？捎τ糜诠庾泳濉⒀苌涔庋骷、光场调控显示、光学超外貌等研究和器件制备。。。。 。。。。
规格参数
* 详细指标因工艺差别有所差别
应用示例
