手艺特点
- 针对异质结电池片铜栅线工艺的图形化需求，，，，，，，专门设计了一款投影扫描光刻系统，，，，，，，具有快速光刻、区分率好、大焦深的特点，，，，，，，接纳405nm光纤激光光源，，，，，，，很是适合在光伏专用感光油墨上举行曝光，，，，，，，实现高品质的槽型结构。 。。。。。 。设置了CCD识别基片纠偏系统，，，，，，，实现30μm瞄准精度。 。。。。。 。
- 该投影扫描光刻模式，，，，，，，接纳较低本钱的通俗掩模版作为图形输入，，，，，，，且具有曝光匀称性与一致性好、工艺窗口大、对基片厚度误差顺应性高、便于与前后道装备组线的优点，，，，，，，是光伏图形化的理想解决计划。 。。。。。 。
规格参数
* 详细指标因工艺差别有所差别
接纳抛光基片，，，，，，，负光刻胶的光刻效果
接纳光伏镀铜基片，，，，，，，感光油墨的光刻效果
