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FlexAligner-P200/P300

晶圆级纳米压印光刻系统

手艺特点

  • 功效:晶圆级衬底,,, ,,高保真复制、高精度套准、低残留压印
  • 用途:半导体晶圆、微透镜阵列、光子芯片、微流控芯片、光波导

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